中量程的热式气体质量流量控制器/质量流量计

中量程的热式气体质量流量控制器/质量流量计

气体质量流量控制器/流量计用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工业设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统，毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

气体质量流量控制器/流量计通道采用的材料为：SUS 316L、氟橡胶、丁晴等耐腐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体或有机溶剂气体时，应在订货时声明，使用的特殊腐蚀性气体，所有的密封材料都要做相应的改变。

中量程的热式气体质量流量控制器/质量流量计：本公司生产的气体质量流量控制器/流量计在安装时好保持水平安装，但对安装位置并不是特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。